事件總覽：從 2025 年 11 月推出 Phemet® 量測系統，到 2026 年 5 月 4 日在法國 CEA-Leti 正式完成首套量產系統安裝，Wooptix 在半導體製程控制技術上取得了重大突破。

📅 2025年11月：Phemet® 量測系統問世

半導體波前相位成像量測技術業者 Wooptix 於 2025 年 11 月正式推出 Phemet® 量測系統。該系統以其極高的速度和精度，能夠在晶圓形貌與幾何量測中達到亞奈米級解析能力。這標誌著 Wooptix 在半導體製程控制技術上的重大進展。

📅 2026年5月4日：首套量產系統安裝完成

隨後，Wooptix 在法國技術研究機構 CEA-Leti 位於格勒諾布爾的技術研究機構完成了首套量產規格 Phemet® 系統的安裝。這意味著系統正式部署於半導體生產應用，將在工業級半導體無塵室與先進研發試量產環境中，支援雙方在晶圓尺度製程特徵、奈米表面形貌及先進封裝量測等領域展開合作。

CEA-Leti 合作的重要性

Wooptix 執行長 José Manuel Ramos 表示，與 CEA-Leti 的合作使公司得以在高度受控的半導體無塵室環境中驗證 Phemet®，並攜手全球頂尖半導體業者，針對實際製程開發挑戰建立應用驗證成果。這項合作進一步鞏固了 Wooptix 在歐洲重要半導體聚落——法國格勒諾布爾的布局。

Phemet® 的技術優勢

Phemet® 量測系統能以極高速度及精度執行晶圓形貌與幾何量測，並提供亞奈米級解析能力。隨著半導體產業持續朝向更高效能、更小尺寸及更複雜的元件發展，並導入奈米尺度特徵與新型整合架構，市場對更先進製程控制能力的需求也持續增加。Phemet® 正是為回應高產量製造環境中的此項需求而開發。

至今影響與未來展望

CEA-Leti 合作計畫經理 Viorel Balan 指出，與 Wooptix 的合作為因應最前沿的奈米表面形貌量測挑戰開啟了新的可能性。透過 Phemet® 平台，雙方希望進一步深化對相關製程的理解，支援歐盟研究計畫，並加速下一世代先進封裝技術的研發。

從產業面來看，Wooptix 在法國的成功佈局不僅提升了其在歐洲半導體市場的地位，更為全球半導體製程控制技術樹立了新的標竿。Phemet® 系統的應用將有助於提升半導體製程的效率和質量，推動整個行業的技術進步。

隨著半導體技術的不斷發展，Phemet® 的應用範圍有望擴大，不僅限於歐洲，還可能延伸至全球其他主要半導體生產基地。對於業界來說，這是一個值得關注的重要動態。

本文改寫整理自公開新聞來源，原始報導由科技新報發布。

常見問題 FAQ

Phemet® 量測系統的主要功能是什麼？

Phemet® 量測系統的主要功能是以極高速度及精度執行晶圓形貌與幾何量測，並提供亞奈米級解析能力。

Wooptix 與 CEA-Leti 的合作目的有哪些？

Wooptix 與 CEA-Leti 的合作目的是在高度受控的半導體無塵室環境中驗證 Phemet® 系統，並針對實際製程開發挑戰建立應用驗證成果。

Phemet® 系統的應用對半導體產業有何影響？

Phemet® 系統的應用將提升半導體製程的效率和質量，推動整個行業的技術進步。

※ 此篇文章由 AI 改寫或生成，內容僅供參考，可能存在錯誤或不準確之處。